Las características del uso de haz de electrones para procesar pequeños agujeros en la industria de maquinaria.

El procesamiento del haz de electrones se realiza en condiciones de vacío, utilizando el haz de electrones enfocado con una densidad de energía extremadamente alta para impactar un área muy pequeña en la superficie de la pieza de trabajo a una velocidad muy alta. En muy poco tiempo, la mayor parte de su energía se convierte en energía térmica, de modo que el material de la pieza alcanza una temperatura elevada de varios miles de grados centígrados en la pieza impactada, lo que provoca la gasificación local del material y es aspirado por el vacío. sistema. Actualmente se pueden procesar agujeros con un diámetro inferior a 3 µm, lo que resulta especialmente ventajoso para perforar muchas piezas en el campo de la microelectrónica. Es un método de procesamiento indispensable en el procesamiento de microagujeros. Características del procesamiento por haz de electrones ①En teoría, el procesamiento por haz de electrones puede procesar pequeños orificios con un diámetro inferior a 1 um. Al mismo tiempo, la longitud de la parte más delgada después de enfocar el haz de electrones es decenas de veces el diámetro de su sección transversal, por lo que es adecuada para procesar agujeros pequeños y profundos. ②La intensidad y posición del haz de electrones se controlan fácilmente mediante el campo magnético y el campo eléctrico, por lo que es fácil programar el control, realizar la perforación automática de orificios pequeños a alta velocidad ③ Cuando el haz de electrones perfora orificios pequeños, la fuerza es pequeña, la tensión y la deformación son pequeñas y se puede usar en frágiles materiales, Materiales dúctiles, conductores y no conductores. ④ Los pequeños orificios del haz de electrones se realizan en alto vacío. Se realiza en medio, evita casi por completo el fenómeno de oxidación en el procesamiento del aire y es especialmente adecuado para perforar pequeños orificios en materiales fácilmente oxidados y materiales semiconductores con requisitos de pureza extremadamente altos. ⑤La perforación con haz de electrones requiere decenas de miles de voltios de voltaje de aceleración y altura de bombeo. Los equipos de vacío son más complicados y caros. Por tanto, tiene ciertas limitaciones en producción y aplicación. En la actualidad, se utiliza principalmente en el campo de la industria microelectrónica. Artículo anterior: Características del mecanizado ultrasónico en procesos de mecanizado de orificios pequeños